二手 EBARA Frex 300S #9137374 待售

EBARA Frex 300S是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于微电子器件制造。该系统面向半导体器件抛光等应用，包括MEMS、传感器和各种行业使用的光学元件。EBARA FREX300S通过自动化过程提供精确的控制,可产生卓越的表面饰面、关键尺寸和更高的可重复性。F-REX300S采用四柱设计的直线电动机驱动台架，并为晶圆提供精确的定位驱动器。它配备了强大的45DFC-S抛光电动机，具有受控的研磨抛光工艺和晶圆装卸参数。它在几微米的水平上具有研磨精度，可以在2到8英寸之间研磨和合圈。Frex 300S具有旋转研磨、自由研磨、金刚石研磨、低力抛光等多种研磨抛光模式。它带有几个定制的研磨和抛光附件，如凹面、多层、金刚石基研磨和电镀轧辊研磨。其过程中控制单元允许操作员实时查看晶圆饰面，并监控液压力、转速和抛光时间等参数。FREX-300 S对用户友好,因为所有操作、过程和调整都可以通过直观的图形触摸屏界面进行。它配备了数据采集和分析机器，能够更好地控制流程，改进部件跟踪和文档记录。利用Procios技术,该工具能够实现多任务应用,允许同时研磨、抛光和检查多达10个晶片。FREX300S是一种先进、高效的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可提供卓越的结果质量和用户便利。凭借其自动化和可编程的特性、先进的技术以及直观的控制模型，这种设备能够为各种行业有效和可靠地生产出优越的晶圆元件。