二手 EBARA Frex 300S #9225525 待售

EBARA Frex 300S是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供最高效率和优异效果。这个系统可以通过一系列的研磨、研磨和抛光过程来处理广泛的单面和多面晶片。EBARA FREX300S具有集成检测技术，将自动检测、定位和测量晶圆特征，引导用户通过正确的研磨参数。为了清洁和安全起见，该装置被封装在不锈钢和塑料外壳中。这种设计提供了防止灰尘、空气中的微粒和其他污染物的保护。所有接入点都配备了空气过滤器和镜子，用于对微粒和微粒进行视觉控制。为确保机器正常工作，外壳内装有内压传感器和大气压传感器。F-REX300S利用模块化工具,结合了静态和动态组件。这样可以确保资产能够容纳50mm到400mm的晶圆尺寸。模型的静态部件包括底座和框架、水箱、供水和水泵，以及压力控制设备。动态组件包括高速电动机、伺服电动机、传感器和光学系统、监视和控制计算机以及用户界面。该设计允许用户从各种研磨、研磨和抛光选项中进行选择。研磨过程包括一个小的旋转金刚石圆盘，应用于晶圆表面，去除表面不规则，并为任何连续的过程做好准备。研磨和抛光也可以通过使用磨料纸和金刚石晶片抛光垫的组合应用于晶片表面。用户可以定制他们的流程，并通过集成的监控系统实时监控他们。通过使用该系统，用户可以获得最高质量、高精度的EBARA F REX 300 S交付。