二手 EBARA Frex 300S #9235714 待售

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ID: 9235714
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CMP System, 12" (3) ASYST ISOPORT Polisher: (4) Tables (4-Head / 4-Platen): A, B, C, and D Retainer ring: EBARA OGR Head type: K-1406-033 Pad type: RION Disk: CW Cleaner: Turn-Over station Cleaner 1 Cleaner 2 Cleaner 3 Spin dryer Power box Robot With accessories Electrical requirements: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 3 Wire + Ground 2004 vintage.
EBARA Frex 300S是一种晶片研磨、研磨和抛光设备,专门设计用于加工超薄(小于0.5mm或20mil)晶片和薄膜。该系统采用三轴、计算机控制的研磨和抛光主轴,可同时配置最多四个研磨头,以及双轴研磨头,使其成为多种应用的高度通用单元。EBARA FREX300S还提供了一系列选项,例如额外的磨头、磨头和专用的抛光头,非常适合使机器适应特定的应用。F-REX300S具有刚性和刚性铸造结构设计,可以在高速下进行一致和精确的处理。这进一步得益于其全自动晶片处理工具,该工具处理晶片对准、加载和卸载,以实现最大精度、效率和重复性。该资产还提供各种研磨和抛光介质,从碳化硅到金刚石,从3到100米μ磨料,提供灵活的选择以满足具体要求。该模型配有高精度伺服电机控制和数字数据反馈,能够在最高速度下实现稳定准确的研磨和抛光效果。它还配备了可靠的冷却设备,有助于优化研磨和抛光工艺。最后,FREX-300S具有用户友好的界面和模块化布局,是晶圆研磨和抛光应用在半导体、微电子和光学行业的理想选择。
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