二手 EBARA Frex 300S #9245371 待售

EBARA Frex 300S是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，其设计目的是为半导体工业中使用的硅和其他电子材料提供精密表面整理。该系统按照严格的标准构建,经过精心设计,可提供出色的过程重复性和高吞吐量。该单元提供了研磨、研磨和抛光的精细平衡，以达到所需的表面精度、表面质量和设备性能。该机由研磨/抛光主轴、研磨夹具、研磨压板、涡轮旋转板和抛光头组成。主轴由提供精确速度和扭矩控制的伺服电机提供动力。研磨夹具设计用于在研磨过程中将材料牢固地固定在适当的角度。研磨板用于将基板固定在研磨表面，以确保表面质量均匀。涡轮旋转板具有高速抛光功能,可实现最佳性能。抛光头是为各种材料设计的，在细腻的基板上提供精细的光洁度。该工具配备了一系列方便用户的功能，简化了研磨、研磨和抛光工艺。功能包括集成的监控资产、数字读出显示、数据记录以及可选的激光干涉仪测量功能。集成的监控模型可以实现准确的过程控制和最佳的过程重复性。数字读出显示以图形方式显示可根据需要调整的进程参数。数据记录提供了该过程的准确记录，可用于分析和完善未来过程。可选的激光干涉仪测量功能提供比手动方法更高的精度。EBARA FREX300S是提供当今先进技术所需的高精度表面光洁度的理想工具。该设备结合了强大的研磨、研磨和抛光功能以及用户友好的功能,使其成为实现半导体和其他电子元件所必需的准确性和质量的宝贵工具。