二手 EBARA Frex 300S #9293812 待售

EBARA Frex 300S是一种高精度、多功能的机器，可以在晶圆上同时进行研磨、研磨和抛光。该设备为4"至12"晶片提供全自动处理。其简单高效的单体设计允许灵活的生产配置和最佳的地板空间利用率。该平台为处理晶片提供了一个快速、准确和一致的解决方桉。EBARA FREX300S采用高性能主轴电机的研磨系统,该电机配有氧化铝研磨轮,在精加工过程中提供精确度和精确度,微裂纹或地下表面损坏最小。磨头能够振荡，使其在晶片表面提供均匀的光洁度，晶片通过真空卡盘牢固地握住，以提供安全的放置和处理。研磨过程通过使用高精度侧绕组滞后机构和可直接设置到工件高度的浮动楔形提供，允许在研磨时精确定位以达到高精度。采用反旋转圈板进行均匀、可重复的表面精加工。F-REX300S通过使用具有可调速度和压力的精密工程抛光器为抛光工艺提供手动操作,从而实现高效和可重复的结果。抛光机可以进一步在不同的方向配置，使其非常适合特定的抛光应用。F REX 300 S提供先进的用户功能、全自动主轴和真空控制，以及集成的高精度直线电机和高精度测量系统，以确保精度、重复性和短周期时间。它还有一个用户友好的触控面板，多配方单元以及长期统计报告。总体而言,FREX-300 S是一种高效、经济高效的研磨、研磨和抛光机,可提供高精度和一致的结果,非常适合各种晶圆加工操作。