二手 EBARA Frex 300S #9311817 待售

EBARA Frex 300S
ID: 9311817
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CMP System, 12" (2) Platens (2) Heads For SiO2 2004 vintage.
EBARA Frex 300S是一种晶片研磨、研磨和抛光设备,旨在提供高性能的晶片表面调节,同时确保准确、一致的结果。该单元自动化,方便用户,便于调整和操作。该系统由一个完全可编程的柔性主轴和一系列高速主轴和模具组成,旨在解决各种晶圆调节过程。这包括磨削、研磨和抛光操作,具体取决于应用程序。主轴由三相矢量电动机驱动,在广泛的研磨、研磨和抛光过程中提供高精度和无与伦比的性能。EBARA FREX300S配备Dremel型磨头,用于中低速操作,以及频率高达45,000 RPMS的高速主轴,用于中高速工艺。该装置还具有可调节的重量,用于磨头和磨轮平衡,以及用于在晶圆调节期间降低表面温度的冷却机。最后,该工具提供了一系列的运动能力,从手动操作到半自动和完全自动化。自动研磨选项允许对机器设置进行快速、准确的调整,从而提高刀具寿命和吞吐量。此外,F-REX300S设计有惰性腔室和真空资产,通过控制工作环境中的尘埃颗粒将对环境的影响降至最低。总体而言,FREX 300 S是一种高度通用的晶圆研磨、研磨和抛光模型,旨在为各种晶圆调节工艺提供卓越的效果。用户友好的界面、可定制的应用程序和高级运动功能使设备成为任何表面调节器的强大工具。
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