二手 EBARA Frex 300S #9382430 待售

EBARA Frex 300S是一种先进的垂直主轴、旋转台式晶片研磨、研磨和抛光设备.该系统旨在在直径达300 mm的晶片上实现精确的表面光洁度、平整度和圆度。该装置专为工艺开发和大批量生产而设计，配备了两台磨削/抛光自动穿越台，一台磨料浆料输送机，陶瓷粘结浆料应用工具和一台去除染料的资产。所有这些组件都设计为协同工作以产生高质量和一致的精加工。系统的方法影响整个模型的设计.用户友好的PLC（可编程逻辑控制器）允许方便的设置和测量。其人体工程学配置包括磨料浆料的受控电荷，以及旋转台的快速行程可调旋转。旋转台由闭环步进电动机驱动,以实现精确、可重复的过程控制.旋转台的设计允许灵活微调以满足基板形状要求。它们还可以通过高级安全功能来防止磁盘损坏。磨料浆料输送设备可确保将磨料浆料输送到每个晶片。EBARA FREX300S包含两个陶瓷粘结浆料应用系统，可以精确调节压力、温度和液体供应，以满足特定的加工要求。去除染料系统提供了快速更换磨料的能力，而无需手动清除残留物。F-REX300S是为提供卓越的性能和精确度的最高批量生产工作而设计的。该装置旨在减少颗粒污染的机会，并确保均匀的表面光洁度。该机设计简单可靠，旨在提供一贯优越的晶圆表面质量。