二手 EBARA Frex 300S #9382436 待售

ID: 9382436
Oxide CMP system, 12" EFEM.
EBARA Frex 300S是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计用于在半导体晶圆上生产超精密平面和曲面。它采用对决轴设计,将二次谐波控制有效地结合到过程中,产生了高度可重复的成形和精加工精度。该系统可容纳多种基材,包括硅和砷化氙,直径从单个晶片到450mm不等。它基于双面研磨、电化学加工、最先进的动态工艺控制等先进技术。这样可以显着提高表面质量、吞吐量和生产率。该装置配备了先进的高速磨头,使其能够快速准确地加工。它可以通过广泛的设置进行调整,包括深度和力、速度和冲程限制,以获得更高的精度和控制。这样可以确保始终取得理想和一致的结果。对于研磨和抛光操作,EBARA FREX300S配备了集成的谐波打印机和平面机。这种功能强大的工具能够在更短的时间和更少的迭代中生成一致且准确的曲面,从而大大降低了生产成本和时间。该资产还包括一个功能强大的软件界面,使其能够轻松地与其他工具和系统集成,从而实现高效和更快的生产。此外,F-REX300S还包括一些测量和检查工具,如剖面仪、模具参考模型和激光剖面仪,以便进行彻底和准确的检查。这样可以确保设备始终及时生产优质零件。F REX 300 S是为了在半导体晶圆上生产超精密平面和曲面而设计的先进而强大的系统。它配备了集成的谐波打印机和平面化单元,以及高速磨头,以实现快速、精确的性能。机器还包括一系列的测量和检验工具,确保生产的零件质量一致和可靠。这样可以提高生产过程的效率和准确性。
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