二手 EBARA Frex 300S #9382441 待售

ID: 9382441
CMP System, 12" Process: WCMP 2005 vintage.
EBARA Frex 300S是一种完整的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在以最小的维护提供高质量、可重复的结果。该系统在一个平台上提供先进的受控研磨、研磨和抛光功能,从而可以精确控制整个过程。EBARA FREX300S设计具有坚固的框架和耐用的结构,以及易于使用的操作控制台和用于存储的板载隔间。该单元提供两种研磨模式、两种研磨模式和两种抛光模式。在研磨模式下,F-REX300S使用高精度主轴,可容纳最多三个研磨轮同时研磨。研磨过程完全由计算机控制,可以调整为使用多种材料。该机能够检测研磨机的功率,并自动调整速度和压力,以达到最佳研磨条件。在研磨模式下,Frex 300S利用自动进给控制和变频电机来牢固地固定每个晶片。机器还配备了手动进给模式,以确保每一个晶片一致、准确地研磨。这一过程通过使用空气轴承得到进一步改进,该轴承允许晶圆在被研磨时自由移动。FREX 300-S的抛光模式旨在生产高质量、光滑的表面。这是通过使用真空卡盘和多个抛光盘来实现的。该工具能够感知晶片上的压力量,并根据需要自动调整抛光工艺的速度和压力。抛光后,晶片自动卸载,准备检验。FREX 300 S是研磨、研磨、抛光晶片的强大、高效、可靠的资产。它易于使用的控件和可调的设置使得它成为任何晶圆处理应用的绝佳选择。EBARA FREX-300S具有先进的特点和耐用的结构,是获得优质、可重复、维护最少的效果的绝佳选择。
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