二手 EBARA Frex 300S #9396291 待售

EBARA Frex 300S
ID: 9396291
晶圆大小: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300S晶圆研磨、研磨和抛光设备是该领域最先进的设备之一。其独特的设计融合了微处理器控制的伺服马达驱动底座,允许在整个工装系列中动态稳定抛光,使其具有很高的准确性和生产率。该系统还设有一个电子可调表,可在粗磨和精磨及抛光过程中精确控制材料的去除率。这确保了优越的效果,即使使用了纤薄的材料也是如此。该装置配有用于均匀晶片研磨和研磨的高精度主轴,设计用于高速低振动操作。该传动机由定制设计的旋转级电机驱动,用于连续无级调速。该工具还采用了自动索引机制,以提高生产率和更加准确的过程控制。此外,该单元还具有内置主轴修复选项,可通过加快安装和恢复速度来延长研磨和研磨头的使用寿命。EBARA FREX300S资产还配备了强大高效的除粒模型。此特性旨在去除研磨、研磨和抛光操作过程中产生的多余颗粒,从而导致产品污染和产品夹杂物。设备采用特殊的排气抽吸装置,从机器中提取灰尘、颗粒和其他材料。这种安排还有助于保持机器运行清洁,不受外界污染。最后,F-REX300S系统是一个持久可靠的主力,能够处理广泛的材料,包括石英,硅,氮化物,等等。它的设计易于维护,坚固的结构确保它能够承担最艰巨的任务。总而言之,FREX-300S是晶圆研磨、研磨、抛光工艺的绝佳选择,得益于其先进的设计、强大的性能和耐用的构造。
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