二手 EBARA Frex 300S #9402500 待售

EBARA Frex 300S是一种半自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在支持生产高质量的半导体器件。该系统具有多种功能和附件,有助于提供出色的过程控制效果。该装置的核心是一台研磨/抛光电动机，能够产生2至10千帕斯卡的力，其设计可提供高精度、可重复的研磨和抛光效果。电机配有步进电机控制，用于精确的力控制，允许精确的抛光压力设置。修剪和端面完成模式可以编程到机器，提供关卡和倾斜抛光等高级功能。EBARA FREX300S还配备了用于均匀压力、无间隙圈速和精确控制的真顶研磨工具。这种资产是专门为防止研磨模式的形成而设计的，并确保晶片的精细、均匀的精加工。真顶研磨模型还具有可变力控制能力，可实现精确稳定的研磨、研磨和抛光。此外，F-REX300S还具有手动和自动清洗和冲洗功能，以确保最高水平的清洁。设备包括大型水箱和过滤系统，允许最大清洁效率和最小晶圆损坏。储罐装有温度控制单元，有助于减少污染和腐蚀。EBARA FREX-300S还提供一系列过程监测和控制系统，如力监测、电流监测和晶圆映射。这些系统确保遵守所有必需的参数,确保最佳性能和可重复性。此外，FREX-300S与一系列计算机辅助软件系统兼容，允许自动评估机器性能和数据记录。总体而言，EBARA F REX 300 S是生产高质量半导体器件和晶圆的绝佳工具。该资产提供了多种功能,可帮助确保精密研磨、研磨和抛光,同时提供多种工艺监控选项。