二手 EBARA Frex 300S2 #293606311 待售

ID: 293606311
CMP System.
EBARA Frex 300S2晶圆研磨、研磨和抛光机旨在在生产环境中提供精确、高性能的研磨、研磨和抛光解决方桉。该设备由一个集成的研磨单元、研磨板和抛光头组成,可通过计算机控制操作,允许在晶圆厚度上切割长达5 μ m。该机由磨床单元和研磨抛光头两个主要部件组成。磨床单元是系统的主力军,能够磨碎晶圆表面积多余的材料。该装置采用金刚石砂轮,能够去除超过0.001um的材料,以达到高精度的光洁度。通过定制电动机、优化的速度和进给速率以及主轴和驱动单元-研磨机单元通过触摸面板进行控制,用户可以对研磨轮的轨迹控制进行编程。研磨抛光头是该单元的第二臂,设计用于在每个晶片上施加收尾时达到更高的精度。该单元配有研磨板,允许用户应用研磨剂来创建超光滑的表面。研磨剂由金刚石化合物、磨料和润滑剂组成,能够去除十分之一微米,以达到镜面状表面。研磨板在高度调节的压力下旋转,而抛光头施加抛光剂以达到所需的光洁度。抛光头由触摸面板控制,具有可编程参数和条件,允许受控抛光过程。EBARA F-REX300S2晶圆研磨、研磨和抛光机是实现晶圆研磨和抛光高度精确的工具。它的功率和精度相结合,能够生产出符合最高标准的晶片,而它的定制电动机和可调速度导致了卓越的重复性。利用计算机控制下的研磨机、研磨板和抛光头,该机能够在精密研磨、研磨和抛光方面取得最佳效果。
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