二手 EBARA Frex 300S2 #9298514 待售

EBARA Frex 300S2是一款多功能、高性能的晶圆研磨、研磨、抛光设备。它是为了满足半导体和其他微电子应用的具体要求而设计的，包括晶圆和基板的制备、稀化和后工艺平滑。EBARA F-REX300S2的精密设计具有高级功能和设计元素的独特组合。工作室完全封闭，操作由易于使用的用户界面控制。操作员可以通过大窗口查看研磨抛光过程。研磨系统包含一个穿孔板或"蜂窝"板，用于一批研磨和研磨多个晶片。这减少了处理多个晶片所需的时间,即使在小批量的情况下也是如此。内置安全门、风扇过滤器和气闸的组合保证了无尘操作环境。每个FREX-300 S2所含的数字板式定位单元可确保在所有晶片和基板上的高精度和极均匀的抛光。具有精确直接驱动和滚珠轴承支撑的单个主轴电机的机器确保了所有磨削和抛光操作的最佳扭矩。这些特性使得EBARA FREX-300 S2适合加工各类晶片、基材和材料，包括Si、GaAs和特种材料。EBARA FREX 300 S2进一步融入了高级流程监控功能，并实时显示所有流程参数，以及故障校正和数据记录功能。磨削/抛光工具的自动校准使用户可以轻松地为不同的应用程序调用和设置参数。该资产还包括一个PLC和交流伺服模型，用于敏感的监控和控制过程参数，以达到最大的生产率和准确性。总体而言，FREX 300 S2是晶圆研磨、研磨和抛光操作的强大、可靠和精确的设备。其先进的、易于使用的控件和高精度的运动控制使得它成为加工各种晶片和基材的理想选择。