二手 EBARA Frex 300S2 #9351475 待售

EBARA Frex 300S2是专门为晶圆和薄膜的精密超声波加工而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。适用于包括太阳能电池、薄膜晶体管、薄膜集成电路、光学半导体等先进晶片型器件在内的广泛晶片应用。该系统具有高精度直线电动机级，用于高速、高精度石英陶瓷研磨、研磨和抛光。该电机驱动单元可实现广泛的主轴转速,包括两个连续转速和六步转速。此外，该机还包括步进电机和操纵杆，以实现主轴转速的完全自动化。EBARA F-REX300S2提供了优化的研磨/研磨解决方桉,包括封闭的无尘工作区、可调节的研磨轮和流速选择器以及多线电极主轴。该刀具具有高精度的直线电动机级，具有最大的重复性和低力进料磨削机构，可实现精确一致的结果。此外,资产还提供了对操作参数（如主轴速度、进给速率、车轮角度和倾斜角）的可编程控制。FREX-300 S2还包括用于主轴精确运动的先进空气轴承导引模型和用于减小设备振动的隔振设计。此外，系统还配备了LED指示灯，以显示研磨阶段和研磨垫的状态，以及剩余的完成时间。最后，该单元与各种磨料操作的研磨研磨石材、粉末、碳抛光磨料垫和聚氨酯垫等一系列研磨研磨产品兼容。总体而言，EBARA FREX-300 S2是一种高度精确的晶圆研磨、研磨和抛光机，旨在满足广泛的需求。它具有优化的研磨研磨解决方桉、最高重复性的高精度直线电动机级、精确一致的低力进料研磨机构以及对操作参数的可编程控制。此外,其封闭的无尘工作区、可调节的砂轮和流速选择器,以及先进的空气轴承导向工具,有助于确保薄膜和晶圆基器件生产的最高精度。