二手 EFG INGOT SAPS #9173291 待售
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ID: 9173291
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Aligning machine, 12"
For ORI entation sapphire INGOT stacking
2010 vintage.
EFG INGOT SAPS是一种计算机控制的"晶片研磨、研磨和抛光"设备,专门设计用于各种晶片的预抛光和研磨。它是一种机器集成晶片制备(MIWP)系统,利用专门设计的冲击波磨料工艺实现晶片的均匀研磨和抛光。冲击波磨料工艺涉及使用专门设计的工具(金刚石或多晶氮化硼),以便在晶圆表面上高效研磨、胶圈和抛光材料。除此以外,该单元还集成了可编程逻辑控制器(PLC),可自动监控整个研磨和抛光过程。它还具有各种各样的传感器,可以快速检测研磨和抛光过程中的任何异常,并向PLC发送适当的信号。该机能够研磨、研磨和抛光晶片,最大直径为400mm,最大转速为8,000rpm。它配备了先进的数字电子控制单元,能够达到± 0.1mm/s的进给速度精度。该工具具有直观的用户友好图形用户界面(GUI),帮助操作员控制过程的各种参数,如压力、速度和工具类型。GUI还有助于分析和呈现研磨和抛光过程的结果,如表面粗糙度、粗糙度和其他参数。该资产还能够对磨削和抛光过程中可能发生的误差和缺陷进行成本、准确分析和预测,从而确保高效和质量。为了保证高效运行,模型配备了先进的自动化设备,有助于研磨抛光工艺的预编程,从而消除人为错误,允许更高的精度。它还有一个反馈系统,在过程中监视材料接口,使其能够根据材料接口条件调整进料速率。此外,该装置有一个集成的减热机,有助于减少过程中对晶片的热损伤。总体而言,SAPS是一种先进和可靠的晶圆研磨、研磨和抛光工具,可确保不同类型晶圆的精确度和均匀研磨和抛光。该资产配备了先进的自动化模型和用户友好的GUI,可帮助控制、监控和分析整个研磨和抛光过程。而且,设备中的各种减热反馈系统进一步保证了高效优质运行。
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