二手 ELB SCHLIFF SWDD030 #9305341 待售

ELB SCHLIFF SWDD030是一种低调的晶圆研磨、研磨和抛光设备.该系统设计用于晶圆的研磨和抛光，也允许研磨和抛光。ELB SCHLIFF单元可以处理尺寸为25.4-200 mm直径、最小厚度为0.1 mm的晶片。所采用的技术是低接触磨削和化学机械抛光技术的结合，促进了高精度、准确性和可重复性。ELB机采用电子双轴气体液压台,步进分辨率为0.002 ″ （0.051mm）。低接触磨削主轴设置可确保最小热量累积,并最大程度地减少晶片和机器上的应力,从而提高同心度和圆度。低接触磨削技术保证了晶圆厚度均匀，最大限度地减少了传统技术磨削时可能造成弯曲的残余应力。抛光技术还采用了两轴涡流控制抛光台，便于晶圆的无对准抛光。此外，还采用了一种快速失衡的纺丝技术，以确保更高效的材料去除和更高的平均去除率。ELB SCHLIFF工具还包括多种单通道、三通道和三步抛光头，使用户能够利用高工艺灵活性和完美的可重复性，非常适合研发部门以及具有高精度磨削和抛光要求的行业。提供了一种组合的离线调理工艺，允许在研磨和抛光作业之外进行磨料和晶圆清洗工艺，从而提高工艺灵活性和降低生产成本。SWDD030资产是一种高精度、低调的模具设备,非常适合半导体、MEMS和光电行业的一系列应用。该模型允许高精度、重复性和低材料去除率，为大规模、大批量生产提供高精度晶片。