二手 ENCO 9514506 #9221221 待售

ENCO 9514506是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体材料的高效和精确处理。适合于硅、氙、砷化的半导体材料和各种性质的新型III-V材料。该系统由两个可同时进行双面加工的磨轮和两个用于晶圆后加工抛光的抛光装置组成。磨轮配有集成的电机调节器，用于转速的可变调整，根据材料性能和所需表面质量，磨削台阶的转速为0至1200 RPM。研磨站包括一个自给去离子水箱，用于在研磨过程中改善模具的水润滑。该单元的设计目的是在粗糙度、粗糙度深度和表面质量值上提高均匀性,以实现结果的最大精度和可重复性。9514506机还包括亚微米过滤单元，以确保研磨过程中加工材料的清洁度。此外，该工具还包括一个综合冷却剂过滤资产，用于防止缺陷和损坏的工具。集成的用户界面，具有模型级监控、过程控制和记录功能等多种功能，允许改进过程执行和结果的可重复性。该设备还配备了自动晶片索引功能，用于晶片的点火和加载。该系统采用坚固的框架,专为最终结果的高性能、最大精度和可重复性而设计。此外，该单元设计用于自动维护工具，以改善工作的连续性。