二手 ENGIS 15FL110V #9248153 待售
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ENGIS 15FL110V是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在提供精确、通用和可重复的结果。该系统提供自始至终的全自动工艺,使用户能够快速开发高度一致的研磨、研磨和抛光工艺,并具有严格的工艺控制。15FL110V配有金刚石镀层磨头,使其能够以极高的精度进行晶圆研磨、研磨和抛光。研磨头可以配置为适应各种不同的材料类型和厚度,以及不同的研磨长度。磁头动态平衡以达到最佳操作,在整个表面提供均匀的磨削。该单元具有坚固的基础平台,由高质量的铝构成,设计方便安装和刚性。这个月台支撑磨头,安装在垂直调节的传动系上。传动系统由一系列传感器控制的伺服电机和自动控制系统控制,以确保最优的过程控制和可重复性。ENGIS 15FL110V还包括具有专利双轴旋转机的高级表面研磨装置。此工具设计为与磨头协同工作,以实现各种操作,如回磨和抛光。它还可以同时处理晶片的变薄和多个晶片的变薄/抛光。最后,15FL110V包括使用洁净室认可的金刚石垫和化学抛光剂组合的抛光资产。该模型可用于实现更好的表面平整度和光洁度。所有设备的设计和认证符合洁净室标准,并与各种加工化学品兼容,使用户能够灵活地根据自己的具体需要定制设备。总体而言,ENGIS 15FL110V是一个先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统,它提供令人印象深刻的过程控制和可重复性,使用户能够快速创建高精度和可重复的结果。集成的研磨单元和抛光单元进一步提高了其多功能性和灵活性。
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