二手 ENGIS EJ-380 #9143445 待售

ENGIS EJ-380是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统,旨在在直径达8英寸的半导体晶圆上产生优越的表面光洁度和晶圆直线度。EJ-380利用一个专有的"Vibra-Jar"来实现一个旋转的压板和水平运动,从而产生一个平滑、一致、重复的交叉运动,适合单压板或多压板配置。ENGIS EJ-380具有金刚石磨削、磨料圈和压力抛光的能力,并且具有最小的磨料转换能力。自动化控制系统还包括数据库参数存储，允许用户根据需要存储和召回流程设置。EJ-380的主轴头结合了专利、半永久性的结合金刚石圈和连续的金刚石装饰周期，保证了出色的工件平整度和均匀性。包含的加工中晶圆直度测量装置可确保尽可能高的产量。其他功能包括主轴头在处理过程中的监视功能,以便在检测到异常振动或过热时检测到操作员并向其发出警报,以及自动停止功能,以防止由于零件公差问题而造成任何可能的损坏。ENGIS EJ-380为每个独特的过程步骤提供了完整的可编程性,包括压力、速度、重迭和停留时间设置。操作员友好的控制界面还为所有系统提供直观的图形菜单驱动界面，包括引人入胜的图形和触摸板控件。EJ-380设计用于自动检测和存储晶片内边缘和外边缘的零件参数,从而实现连续晶片运行的每个操作的精确可重复性。ENGIS EJ-380设计方便维护，配有长寿命聚氨酯磨损板和夹具，确保操作员安全。Vibra-Jar也很容易更换,无需任何工具或固定装置。通过板载诊断功能,EJ-380可以在运行过程中快速重置所有进程设置,从而进一步防止发生任何可能的故障。ENGIS EJ-380的耐用可靠的结构，保证了较长的工作寿命和优越的晶圆研磨、研磨和抛光性能。