二手 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9156523 待售

ENGIS EJW-1200EFN-4AL是一种独特的、最先进的设备,专为晶圆研磨、研磨和抛光操作而设计。该系统经过精心设计,可提供高度的吞吐量和准确性,同时保持卓越的质量和灵活性。EJW-1200EFN-4AL主要由一个研磨/研磨机构和四个天线组成，用于大容量晶片的双面加工。天线安装在可径向调节的悬臂上，可实现更高的线性速度和更均匀的晶圆表面光洁度。每根天线都固定在机架可安装的框架上,该框架被封装在减音柜中,这有助于降低过程噪音并提高一致性。该单元可根据各种研磨/研磨/抛光要求量身定制。例如,可以将其配置为角研磨/研磨、晶圆表面粉碎和边缘去毛刺。ENGIS EJW-1200EFN-4AL还具有一个气动卡盘，可容纳多达9个重型晶片卡带，每个卡带包含20个晶片卡带容量。这允许每小时最多800个晶圆的双面或单面过程。机器的自动化由基于PC的控制站提供动力，该控制站具有用户友好的图形界面，用于监控循环计数、定位和速度调整等过程参数。此外,EJW-1200EFN-4AL工具可与环境控制系统（如除尘、N2吹出和低温冷却）结合使用,以确保在此过程中清除所有杂质。最后，ENGIS EJW-1200EFN-4AL是一种创新的晶圆研磨、研磨和抛光资产，旨在抵御大批量生产的严酷。它具有高精度、可靠性和广泛的工艺选择,非常适合各种晶圆制造应用。