二手 ENGIS EJW-1200EFN-4AL #9224525 待售

ENGIS EJW-1200EFN-4AL是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为要求苛刻的生产应用而设计.它能够每小时处理多达1500个晶圆，单程可研磨多达500个晶圆，该单元有四个可互换的主轴，可以精确处理相同或不同尺寸的晶圆，包括200、300、350和500毫米。每个主轴可达到+/-0.001mm的保持公差,并具有闭环伺服电动机,以提高精度和结果的可重复性。四个模块化和循环式腔室可实现快速设置和转换时间,并获得专利的连续平整线处理系统可确保均匀平整。高性能，低振动的设计，使得一个非常安静的机器，和角度喷嘴提供出色的晶片边缘保护。模块化和再循环腔室还可以方便地维护其铰链盖和重型真空鼓风机。该设备配有高性能的高级流程控制器,配有大型彩色触摸屏显示屏,易于使用和高级功能。它具有能够实时处理和位置控制的数据采集机，结果以图形方式显示在同一个显示窗口中。此外,控制器还允许远程诊断和故障排除,以及远程进程设定点和电机参数。该工具安装在高度耐用的不锈钢框架中,可提供出色的保护,防止高温过程造成的腐蚀和磨损。集成的上部冷却设备可确保加工表面的有效耗散,从而延长模型的使用寿命。EJW-1200EFN-4AL是大批量加工各种中大直径晶片的理想选择。