二手 ENGIS EJW-380-1 #9257673 待售

ENGIS EJW-380-1晶圆研磨、研磨和抛光设备旨在提供一种在各种类型的半导体材料上生产超光滑表面的快速、经济的手段。该系统采用两轴伺服控制的前导主轴驱动器,可在一个周期内实现高精度表面研磨和抛光。主轴传动使用直流电动机同时进行低速和高速运行。该装置可采用各种参数进行编程，如磨削和抛光压力、主轴速度、步长、切削深度等。此外，主轴传动可以适应不同尺寸和形状的医疗材料，同时保持最佳研磨效果。该机配有振动脉冲抛光工具，用于表面粗糙度的细化。对于不同类型的基板,此资产能够实现非常低的表面粗糙度（Ra ≤ 2nm）。该模型由人机界面（HMI）控制，并配备在线诊断和自我监控能力。该设备具有防音罩、自动除尘系统、灭火系统和空气过滤器等安全功能。EJW-380-1采用不同的研磨和抛光工具，包括皮带砂浆、抛光浆料、金刚石浆料和金刚石浆料。这种组合有助于减少研磨时间，提供出色的无刮擦效果。该系统还包含一个用于精确晶圆厚度测量的高度精确的校准单元。该校准机包括一种自动补偿后磨削深度的数值控制.ENGIS EJW-380-1工具易于操作和维护。资产可以与其他现有系统集成，也可以作为独立模型使用。EJW-380-1具有高性能、高精度、安全特性和易于使用的控制系统,是各类半导体材料超光滑表面可靠生产的理想选择。