二手 ENGIS EJW-400IFN #9107357 待售
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ENGIS EJW-400IFN是一种革命性的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为先进的半导体器件制造而设计.该系统利用先进技术,以更高效的方式处理先进的半导体器件,提高产量和质量,最终导致生产成本降低。该机组配有高精度、400mm容量的研磨、研磨抛光机、用于过滤颗粒的吸尘器、集尘器和控制整个过程的测量/解释装置。这台机器实际上需要零维护,并提供全自动操作。EJW-400IFN的负载容量可达400毫米晶圆,每个周期的最大容量为30片4英寸晶圆。该刀具具有变速电动机,可加工0.12-1.5mm厚度的晶片。研磨过程采用固定磨料法和自由磨料法进行,以满足不同的精度要求。抛光工艺在低压下使用1000+/-10 μ m的磨料颗粒,允许高精度加工。该资产提供了高水平的吞吐量,能够在八小时轮班中处理多达180个4英寸晶圆。这种效率通过静态动力运动机构和相互进给运动的结合进一步提高,以确保快速去除芯片。该模型采用带石墨适配器的分步操作,具有较高的晶圆质量和较低的颗粒释放。为了安全起见,设备配备了自动监控和机械停止功能,如果磨盘由于异物而过量充电或堵塞,系统将停止运行。该单元还设计用于低噪声排放和保护屏蔽。总体而言,ENGIS EJW-400IFN是一种先进、高效的晶圆研磨、研磨和抛光机,专为生产高质量的半导体器件而设计,适用于多种多样的应用。该工具非常适合那些寻求用于处理高级半导体器件的可靠、经济高效、高通量解决方桉的用户。
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