二手 ENGIS EJW-460SFN #9143438 待售
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ENGIS EJW-460SFN是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于制造和生产半导体、光子学和光学等多个行业的超精密元件。EJW-460SFN是一个多功能多用途的系统,能够用一台机器进行晶圆研磨、研磨和抛光操作,从而为用户提供了极大的便利和效率。ENGIS EJW-460SFN单元具有用户友好的图形软件界面,由10.4英寸TFT触摸屏操作。这样可以方便地导航和编程晶圆研磨、研磨和抛光操作。此外,非易失性内存可在发生电源故障时增强数据安全性,从而实现快速恢复。EJW-460SFN机配有直径200毫米的台式正弦梳理装置,为大型300毫米晶片的研磨和抛光提供支撑。多个晶片研磨主轴可用于支持并行和批处理模式下的多个晶片的处理。晶圆研磨主轴与研磨和抛光垫结合使用,旨在完成晶圆的最小表面粗糙度为0.2µm Ra。该工具配备了全套传感器,包括自动聚焦和工件传感器,以确保高精度和一致的结果。资产还包括高速研磨圆盘,以减少晶圆到晶圆的循环时间。利用其两级水冷模型,ENGIS EJW-460SFN能够提供稳定高效的表面光洁度。最后,EJW-460 SFN的人体工程学设计也因其舒适的控制面板和与FOUP兼容的元件而减少了操作员疲劳。该设备占地面积小,安全性能增强,是晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想选择。
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