二手 ENGIS EJW-910T-4AL #9388514 待售
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ENGIS EJW-910T-4AL是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在实现从单面研磨和抛光、背面计量到双面研磨、研磨和抛光的工艺。系统完全可编程,允许根据具体工艺要求调整压力、速度、变速区间等参数。它可以支持直径最大910mm的元件,最大厚度为25mm(20mm配有双抛光单元)。该机具有先进的驱动电机和精密加工的双行星磁头,可在批量生产中提供准确和可重复的结果。它还具有一个直观的操作工具,该工具结合了触摸屏技术和自动进纸索引,完全集成且易于导航。对于高级控制,资产提供了一系列用于过程监视的选项。流程参数可以实时监控,并记录下来供处理后审查。此外,该模型还包括一系列先进的技术,能够利用更高的研磨力和磁头速度来优化吞吐量和过程鲁棒性。集成真空/静态喷射粉尘提取有助于减少空气中的颗粒并包含研磨、研磨和抛光粉尘。设备配有内置的冷水装置,有助于减少研磨/抛光过程中的热量积累。该系统具有一系列先进的制造、测量和数据采集能力,如内联计量、表面纹理测量、刀片曲率分析、应变仪传感器以及过程重复性验证、零件平整度、波浪度测量等质量控制测试。总体而言,EJW-910T-4AL是一个先进的晶片研磨、研磨和抛光装置,它能够在任何晶片生产环境中实现先进晶片加工的优势和最高水平的生产吞吐量、质量和可重复性。该机器的设计易于操作和最大的可配置性,提供满足任何应用程序所需的灵活性。
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