二手 ENGIS FL-15 #293592372 待售

ENGIS FL-15是一个强大的晶圆研磨,研磨和抛光设备.它旨在满足当今晶圆制造工艺的苛刻要求。除了蚀刻和去除氧化物等先进工艺外，其能力还包括用常规和最小的晶粒金刚石磨料研磨晶片和薄膜。该装置包括一系列技术，包括化学机械平面化（CMP）、研磨和双面抛光，具有研磨、研磨和抛光直径达300毫米的晶片的能力。FL-15专为需要快速周转时间进行晶圆抛光的高产量而设计。ENGIS FL-15具有主轴,由用于精密研磨、研磨和抛光操作的重型轴承结构支撑,并配有高精度空气轴承主轴,能够在非常窄的公差范围内产生出色的研磨效果。FL-15的独特设计和结构使集成真空系统能够确保准确的零件对准,从而实现所有晶圆尺寸的最高精度研磨、研磨和抛光。ENGIS FL-15还配备了数字触摸屏控制器，提供简单、直观的接口，以高效管理整个过程。该单元还包括许多附加功能,如配方、库、用户/组访问权限,以及监视和调整参数（如机器速度和力）的功能。集成的操作员安全工具提供多级验证和访问控制。FL-15具有一系列内置功能,旨在确保最精确的研磨和抛光工艺。抛光垫的自动对准、工件托架的固定夹紧以及对外部干扰的保护等特点使其成为加工陶瓷、金属和塑料等先进难以加工材料的理想选择。ENGIS FL-15是高容量晶圆研磨、研磨和抛光的强大而可靠的资产。由于设备的创新功能,例如直观的触摸屏控制器、增强的自动化和多种安全级别,可以实现高精度的研磨、研磨和抛光效果。通过广泛的可自定义设置,FL-15可以适应各种晶圆生产应用,增加生产时间,确保零件的最高质量,同时保持安全标准。