二手 ENGIS FL-24V #9259337 待售

ENGIS FL-24V晶圆研磨、研磨和抛光设备是为生产解决方桉和研发应用而设计的全自动系统。该单元能够在直径不超过200 mm的晶片以及不超过6 "x 6"的基板上产生平坦、一致的表面。机器配置有两个加工区域，一个主研磨区域和一个单独的抛光区域。研磨区有一个频率高达10,000 rpm的24Vdc主轴电机。这允许晶片的精磨和调节。调节过程消除了较小的曲面非均匀性。经过研磨过程，晶片在抛光区加工。抛光区还使用频率高达3,000 rpm的24Vdc电动机,以确保高度精确和一致的抛光过程。为了实现一致的表面饰面,该工具配置了一个能够检测小划痕的触摸敏感触控笔模块。此外，数字显微镜与资产结合测量表面光洁度。这种显微镜为用户提供了表面的监控图像，允许他们在需要时采取纠正措施。作为FL-24V模型集成设计的一部分，整个研磨抛光过程是自动化的，可以根据用户设置的参数编程为启动和停止。这样可以消除与手动流程相关的猜测,并确保实现可重复性。此外，设备还配备了空气浮表，用于悬浮晶片或基板，从而实现稳定的研磨和抛光工艺。这有助于确保最终产品的质量在不同批次之间保持一致。ENGIS FL-24V晶圆研磨、研磨和抛光系统是用于生产和研发应用的可靠、先进的解决方桉。设备的集成设计可确保用户获得一致、精确的表面光洁度,同时消除与手动过程相关的猜测。