二手 ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4AL #9208902 待售

ENGIS JAPAN EJW-1200EFN-4AL晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种全自动、高性能的系统,旨在实现各类半导体和MEMS晶圆的卓越表面光洁度和平整度。该单元配有四（4）个可编程研磨/抛光头，每个头可进行16种不同的研磨/抛光操作，总共64种可能的组合。机器还包括两（2）个研磨位置，以较高的速度在晶圆表面上达到优越的光洁度。EJW-1200EFN-4AL具有直观且用户友好的图形用户界面（GUI）,用于编程、监控和故障排除。该工具还通过多种界面利用触摸屏控制资产,既提供干净的用户界面,又提供直观地编辑现有流程或设置新流程的工具。该车型还配备了多种安全功能，包括安全门互锁设备，以及温度和湿度传感器。此外,还对系统进行了测试,以确保与各种基于GR-和MQ的标准工作台和载荷幻灯片兼容。该单元利用线性驱动的往复运动来进行车辆运动，并利用线性驱动的索引机制为研磨和研磨阶段提供多达512个可编程的位置和/或设置。该机能够研磨和研磨薄至20微米厚度的晶片，总直径范围为25毫米至300毫米。该工具还允许各种不同的质量保证参数,包括测量任意作业时间、端点、已完成作业数、总光栅、总重磨以及各种其他参数的数据的能力。该资产的设计符合ISO9001:2015要求,并提供经过认证的更换部件。此模型能够执行多种过程,包括表面抛光、1/4和1/2俯仰角研磨、反角研磨和轨道溷合。