二手 ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll #9208850 待售

ENGIS JAPAN EJW-460SFN-ARSll是一种高性能晶圆研磨、研磨和抛光设备。它旨在为超精密晶片的超平磨、研磨和抛光操作提供高效、精确的解决方桉。该系统采用整体式设计，将所有机器部分整合到单个刚体中，以获得更高的精度和精度。它包括一个专利环状不锈钢框架和一个高速精密传动单元由数控步进电机驱动。该框架由激光分级交叉滚子导轨支撑，为动态研磨和抛光应用提供了卓越的定位精度。内置的主轴箱和尾架允许有效的单面研磨、研磨和抛光整个晶片的过程，而无需转动它。它还具有两个5mm至65mm的磨轮、两个25mm至495mm的研磨轮和一个200 mm的研磨抛光臂，每个臂都有自己的专用工作平台。车轮和手臂可以在一系列不同的应用中精确调整0.1µm的间隔。该机还配备了使用激光干涉仪实时测量晶圆轮廓的高精度测量工具。它与研磨和抛光工艺集成在一起，以提供晶圆性能的准确反馈，并确保最佳精度和准确性。其他功能包括高速输送资产、自动装卸、先进的自动防护系统以防止紧急情况,以及方便用户的HMI,可方便操作。总体而言，EJW-460SFN-ARSll是晶圆超精密平磨、研磨和抛光的有效和可靠的模型。凭借其快速、准确的响应、高性能和精确的测量设备，它能够每次都提供优越的效果。