二手 ENGIS THG-170 #9185382 待售

ENGIS THG-170是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光设备,其独特之处在于它能够在一个步骤中容纳高达170 mm的大晶圆直径,并具有卓越的工艺精度。该系统由ENGIS Superarrasives制造,为自动化和手动操作提供精确、无缺陷的表面。THG-170单元装有金刚石磨轮，可加工扁平、整流和阶梯式氧化铝、石英和碳化硅晶片。另外的准备和整理，像磁带胶粘剂去除，可以用ENGIS THG-170通过选项，如吸收垫清洗站来完成。THG-170具有强大的结构设计以提高效率,使其成为最严格的生产环境的理想选择。它有一个浮动的双压力压板，可减少磨削过程中的基板翘曲，精密平衡的磨轮确保工艺精度和可重复性。使用独立的XY-轴换能器可精确追踪晶圆表面的确切位置。内置的空气轴承主轴提供了卓越的研磨精度以及内置的动态平衡。ENGIS THG-170的数字控制允许方便地访问工艺参数和操作员可调节的晶圆研磨、研磨和抛光程序。此外，该机还具有内置的过程重复性和跟踪能力，特别适合连续大批量生产运行。对于额外的过程控制THG-170包括精密的反馈系统，跟踪晶圆厚度并保持对研磨过程的精确控制。总体而言,ENGIS THG-170晶圆研磨、研磨和抛光工具是一种用途广泛且可靠的解决方桉,适用于要求最苛刻的生产操作。凭借坚固的结构、精确的研磨和研磨能力,以及全面的控制系统,THG-170提供了高效、高质量的过程,且操作错误最小。