二手 EXCEL Micron 618 #170194 待售

EXCEL Micron 618是一款高效、用户友好的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它提供了单一晶片处理解决方桉，以在短时间内达到优越的晶片光洁度和均匀性。该系统利用工艺工程和超精密技术的最新进展，确保每个晶片都具有出色的平整度和无粒子表面。Micron 618采用旋转头设计,能够从晶圆的背面和正面进行高生产吞吐量的处理。该装置采用两个高精度工艺阶段和两个可控、独立的主轴。它可以处理具有可变、较大行程和变速控制的8"和12"晶片。EXCEL Micron 618的高级控制机使批处理能够基于用户定义的参数和自动过程优化。它可以独立控制工艺,并在每个晶片中获得更好的表面光洁度.该工具具有先进的传感器,可监控产生的压力和扭矩,确保过程一致,磨料珠的磨损最小。Micron 618还提供集成的串联粒子检测和工艺控制，使晶片清洁度最大化，潜在缺陷最小化。其精密的磨料分散资产保证了加工室内的恒定和均匀的磨料浓度，使得抛光效果更加均匀。EXCEL Micron 618还提供多功能自动化功能,包括远程监控、PC/SCADA接口和自动机器人装载机等功能。这使得该模型成为一种经济高效且精确的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉,可集成到大批量生产过程中。