二手 FUJI FSP-12B-5L #9118923 待售
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FUJI FSP-12B-5L是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,设计用于加工直径不超过6英寸的半导体材料。FSP-12B-5L系统提供流线型表面制备工艺,非常适合当今最先进的设备。它由一个12英寸的磨轮、一个40升的储罐、一个高压泵、一个真空泵和一个数控可编程控制单元组成。磨轮是由金刚石颗粒粘合到一个钢背底座,以优越的切割功率和刚度组成。超大型储罐设计为提供超平滑的操作,以及减少加工过程中的热量积聚和水分流失。控制机具有基于菜单的图形用户界面,简化操作,并在整个研磨过程中保持最大精度。该工具提供了一系列参数,如研磨压力、研磨速度以及所需的水和油量。为了保证精度,该资产利用一个精确的负载单元来监测施加到晶片表面的压力,确保光滑均匀的光洁度。FUJI FSP-12B-5L还配备了一个高压泵来有效地加压轮巴水/油溷合物,从而使研磨速度更快、效率更高。可以根据所需的结果调整泵的压力范围。此外,真空泵从卡盘和储罐中清除废旧材料,以确保清洁、安全的工作环境。FSP-12B-5L是一种先进、用户友好的晶圆研磨、研磨和抛光模型,为各种清洁和表面制备应用提供了完整的设备解决方桉。该装置具有变速驱动系统和精密负载单元,可提供一致精密的精加工,准确性和可重复性。此外,储罐确保操作平稳、安静,振动最小,减少噪音污染和空气中污染物的数量。控制机人性化的图形用户界面简化了操作,消除了设置时间,让操作员安心。
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