二手 FUJI Go #9190426 待售

FUJI Go是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，可同时容纳多达八个晶圆。它利用架空机械臂移动晶片，可以在安装在普通主轴上的四个不同的研磨和抛光盘上进行加工。该系统能够研磨和抛光各种厚度的晶片，以及研磨不同掺杂浓度和材料的晶片。研磨和研磨圆盘由高耐磨材料制成，可确保晶片在磨削过程中具有高度的表面粗糙度。有一个真空固定选项，它允许晶片在研磨和抛光过程中牢固地固定在适当的位置。警报装置有助于在处理过程中监视晶片。该机具有内置的研磨和抛光程序，可以为每个研磨和抛光周期输入各种参数。这些参数包括磨削和抛光轮的速度、要施加的力量、每个循环所需的时间量以及循环次数。该程序还存储来自以前会话的信息,允许以最少的用户输入执行重复过程。该工具在较高的加工温度下运行，这有助于减少正在加工的晶片的氧化。集成的冷却设备可防止研磨和研磨光盘过热,并有助于确保整个批次的均匀处理。该模型还带有磨削和研磨工具的自动锐化功能,使它们能够在整个生命周期中保持性能。该设备可与其他晶片制备系统集成，如自旋冲洗和干蚀刻系统，为加工晶片提供全自动解决方桉。Go晶片研磨、研磨、抛光系统是快速、准确地制造各种应用半导体晶片的可靠、经济高效的解决方桉。它易于操作,具有一致的处理质量和可重复性,是半导体制造的理想选择。