二手 FUJI KOGYO 9B-5L #9276659 待售

FUJI KOGYO 9B-5L晶圆研磨、研磨和抛光设备是半导体晶圆精密表面抛光的精密高效系统。该机组设有两个双面研磨抛光站，允许两个晶片同时加工。每个站都能处理一个6"、8"或12"晶圆。这台机器在低颗粒污染的情况下提供了快速的加工时间。9B-5L工具设计用于各种材料的研磨、研磨和抛光,包括硅、GaAs、InP、蓝宝石和石英。该资产可用于晶圆基板的蚀刻、研磨、研磨、抛光、背面调理和冲刷过程。车型包括600/110rpm主轴转速、2000或600rpm板转速和可调板底压力。可以选择压力、速度、旋转方向和倾斜角度等可编程参数以确保工艺精度。设备包括精密的四轴卡盘和卡盘驱动器。FUJI KOGYO 9B-5L有一个数字控制面板，旨在提供对磨削和抛光过程的精确控制。它可以设定压力、旋转速度、旋转方向和倾斜角。触摸屏面板还允许对各个流程参数进行编程。系统配备了提供详细过程控制的软件。软件包括一系列自动控制选项,如经过的时间、每晶圆的总圈数、行进距离和每晶圆的步数。该装置采用9英寸HB金刚石研磨轮制备晶片，采用4英寸HB金刚石研磨轮进行晶片边缘研磨。该机还包括研磨板、抛光垫套件和一个BEOS室，用于调节抛光过程的温度和压力。9B-5L提供了一个用户友好的设计，以确保高过程重复性和清洁的操作环境，非常低的颗粒污染水平。这样可以确保每个晶片都按照最高标准进行处理。