二手 G&N MPS 132 / MPS 134 #9227754 待售

G&N MPS 132/MPS 134是一种坚固的晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于执行广泛的晶圆制备过程。它是一个模块化系统,具有多种功能,使其成为多种材料加工应用的理想解决方桉,包括锯切、研磨、背面变薄、边缘研磨以及背面和正面抛光。该单元配备了精密级、线性驱动器和高分辨率编码器，能够将晶片定位在其所需目标位置的2 µms内。该机还具有无粘性空气轴承，确保高精度的运动操作和平滑和可重复的运动轮廓。MPS 134配备了一种名为"验尸扫描"的分析工具，可用于分析研磨和抛光过程。它配备了一个粗糙的开槽工具，可以对高度步长高达1.8毫米的晶片进行高精度开槽。该资产采用多轮技术，实现了极好的晶圆平整度。该模型的独特设计允许使用最多四个单独的研磨/研磨工艺，以便对单个晶片进行优化。这是通过集成先进的运动控制设备实现的，该设备可以精确控制研磨/研磨/抛光过程。MPS 134配备了用于测量晶片表面粗糙度的精密测量系统。该装置有一个直列式减压机，有助于避免磨削和研磨过程中晶片表面的大压力变化。最后，该工具配备了先进的安全资产，为操作提供了安全的环境。MPS 132/MPS 134是一种出色的晶圆研磨、研磨和抛光模型,提供卓越的性能,非常适合各种材料加工应用。它的模块化设计，精确的运动控制设备，以及各种安全措施使得它成为晶圆处理操作的绝佳选择。