二手 G&N MPS 2-134 #9227858 待售

G&N MPS 2-134晶片研磨、研磨及抛光设备（MPS 2-134）是一款设计用于集成电路（IC）和基板晶片研磨抛光的创新产品。该系统由不同的外围设备组件组成,可实现高度的流程准确性、可重复性和吞吐量性能。该装置设计用于超精密制造晶片，以满足最高的半导体制造要求。G&N MPS 2-134提供独特、坚固和可靠的晶圆研磨和抛光工艺。机器装有两级研磨/抛光单元，由研磨轮和抛光垫组成。磨轮由金刚石或cBN磨料制成。它专为薄晶片和厚晶片的高速研磨而设计，具有很高的精度和可重复性。第二阶段是用于抛光晶圆表面的化学/机械（CMP）抛光工艺。抛光步骤使用适合晶圆材料和特性的抛光浆料执行。MPS 2-134提供了对研磨和抛光过程的精确控制。该装置具有自动间隙调节能力，能够测量磨轮和晶圆之间的间隙宽度，以确保最佳工艺精度。此功能还有助于为特定应用程序设置最佳流程参数。该单元还包括使用分布式控制工具（DCS）体系结构的高级过程控制,允许对研磨和抛光过程进行远程监控。G&N MPS 2-134还为操作员提供了增强的安全功能，因为资产配备了自动保护模型和紧急停止电路。此功能有助于保护用户在使用设备期间免受任何潜在事故的影响。为了最大限度地提高磨削和抛光工艺的效率，MPS 2-134采用了独特的抛光浆料和抛光垫架。该支架配有机动设备，可方便快捷地装卸垫子和泥浆容器。此功能消除了浆料和垫料转换过程中的任何潜在时间损失,从而提高了生产率、吞吐量和工艺可重复性。总体而言，G&N MPS 2-134是一个创新系统，旨在满足半导体制造的苛刻需求。该单元对晶片研磨、研磨和抛光工艺提供了独特而可靠的控制,确保了最先进应用的最高质量晶片。