二手 G&N MPS 3H132 #9199454 待售
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G&N MPS 3H132是业界领先的制造商G&N公司生产的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它对硅、蓝宝石、氧化锌、砷化的多种不同材料具有高精度和精加工的表面质量。该3H132采用多种多样的模块化设计,可执行广泛的加工任务和功能,如非接触磨削、研磨、双面抛光、单面平面化以及工艺后清洁和干燥。全自动系统能够高速提高吞吐量,即使在处理多个晶片时也是如此。该3H132为全尺寸晶圆研磨、研磨和抛光提供了强大而坚固的解决方桉。其现代角形设计具有不锈钢框架构造、加压滚筒、数字高速驱动、控制晶圆转速的液压单元,以及一系列专门用于研磨和研磨需求的高精度工具/臂组合。模块化设计允许定制应用,如高需求的双面抛光、单面平面化以及后工艺清洁干燥。3H132晶圆研磨、研磨和抛光机能够以惊人的速度进行广泛的操作。该工具能够将晶片旋转至15,000rpm,同时还对两侧施加压力和均匀研磨以同时研磨。资产的精确运动控制允许高精度完成,而独特的力反馈功能为操作员提供了有关过程的额外反馈。该3H132提供了一个闭环模型,具有防止操作问题的集成安全功能。该设备具有接地环路特性,可感知任何潜在的问题,如沉降的颗粒或破碎的磨轮,并根据需要关闭操作。此外,3H132还包括空气通道冷却,确保所有组件即使在延长运行期间也能保持稳定的工作温度。最后,MPS 3H132为晶圆研磨、研磨和抛光提供了一种先进、高效的解决方桉.它是一个非常动态的机器,能够执行各种过程的高速和精确度。集成的安全功能使其成为现代工作场所的杰出选择,其高度可定制的设计使该过程能够根据任何用户的需要轻松定制。
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