二手 G&N MPS 940 #194462 待售
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G&N MPS 940是一种综合性晶圆研磨、研磨和抛光设备。它集成了公用事业和配件，用于生产高质量、超平坦、可重复的晶圆表面。该系统有一个多控制单元，允许简单的设置和操作。它具有可调的倾斜机构，可确保晶片整个表面的磨削速率和表面光洁度均匀。MPS 940的倾斜范围为2到26度，在保持时间、下力和磨削压力不同的情况下有助于实现均匀性。该机还具有润滑和冷却系统，具有不锈钢进料机和先进的冷却机构，有助于降低研磨介质的温度。这有助于在整个研磨过程中保护晶圆的细微结构。研磨介质可以使用陶瓷或金刚石材料制造，使G&N MPS 940适合加工各种材料。磨削介质通过可编程的漏斗工具送入工作甲板,最大介质尺寸为200微米。这样可以确保磨削介质的进料速率和尺寸始终一致。研磨和抛光过程是在同一资产中进行的，这样就不需要两台单独的机器。精密皮带抛光器可将晶片抛光至10纳米表面光洁度。抛光器有内置的计算机控制模型，可以让操作员调节抛光表面的速度和压力，以及晶圆的倾斜度和位置。总体而言，MPS 940是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备，提供准确和高效。该系统确保了随后晶圆测试和生产阶段的最佳表面光洁度。
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