二手 G&N MPS 940 #9172866 待售

Gatan 940型MPS是用于晶圆研磨、研磨、抛光应用的多功能设备。系统能够研磨、研磨和抛光平面（$0 ^\circ $-15 $^\circ $slopes）、圆柱形（$0 ^\circ $-180 $^\circ $slopes）或球形曲面。而且，它可以同时处理Si和非Si材料。该单元的核心是一个直列运动控制平台，它提供高达四个轴的高速、高精度运动控制。这有助于对X、Y、Z和A级进行精确控制。该机还配备了主轴电机，可以对圆柱面和球面进行高精度加工。其变速控制允许最大主轴转速高达1000 RPM。它还安装了一个获得专利的运动学快速变更（KQC）配合工具,该工具允许快速交换模具资产。此外，Gatan G&N MPS 940型号还配备了多种多磨削、研磨、抛光工具，包括金刚石浆料、流体和浆料。设备还装有用于优化清洁过程的集成空气喷嘴。该系统的其他功能包括内置的安全互锁、可选的除尘罩以及基于触摸屏的图形用户界面。它还具有具有多个卡盘位置的真空夹紧装置，以及增强能见度的LED光机。总体而言,Gatan 940型MPS是超精确研磨、研磨、抛光和清洗各种材料的理想工具。凭借其多种多样的功能和可定制的选项,此资产是针对各种应用程序的可靠且一致的解决方桉。