二手 G&N MPS R400 #293645363 待售
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G&N MPS R400是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光自动化设备。它专为大型或小型晶片上的单次和多次应用而设计,服务基板从最多4平方英尺到最多8平方英尺的圆形或6平方英尺。MPS R400具有机器人在连续加工曲面之间移动晶片的标准配置.这意味着不需要手动处理、增加吞吐量和一致性以及减少人为错误。它还保证了更高的工艺安全性,精确选择和单独形状的抛光垫和钻石悬浮液,保证均匀研磨,研磨和抛光。G&N MPS R400配备了一个闭环反馈系统,实时监控和精确调整过程参数。这样可以实现一致和准确的拆除率,同时显着减少处理时间。此外,该单元还包括一个配方驱动的数据记录功能,用于记录进程签名和设置通知。通过配备显微镜、高压注滤装置和可选的隔振装置等配件,可以进一步优化机器,防止材料冲击和表面损坏。此外,可选的真空晶片卡盘可保证更高的产量,尤其是对于纤薄晶片。MPS R400能够通过先进的抛光技术实现表面光洁度的实现,包括聚类磨料抛光和超纳米抛光。它兼具高加工率和高精度和可靠性,因为它结合了刚性的工业级建造质量和为优化晶圆对齐和圆度参数而设计的综合规划工具。最后,资产的设计考虑到了安全性,因为它具有紧急停止按钮,以确保操作员及其周围环境的安全。总而言之,G&N MPS R400是一种可靠、高质量的晶圆研磨、研磨和抛光机器,提供了可重复、可靠的结果。
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