二手 GATAN / SAGITTA Gemini CX #9131544 待售

GATAN/SAGITTA Gemini CX是晶圆研磨、研磨和抛光设备的组合。它是专门为单个晶圆工艺而设计的。这个系统是多步骤的，需要五个独立的部分来完成这个过程。第一步是用金刚石研磨介质进行晶圆研磨。这使用磨削动作来减小晶粒尺寸并确保均匀的表面光洁度。第二步是采用金刚石研磨介质进行低压研磨，在不改变平整度或形状的情况下对表面进行抛光和光滑处理。第三步是抛光。这是利用磨料浆料来降低表面粗糙度和创建平面化的表面。第四步是采用较高压力的金刚石研磨介质进行研磨，以提高表面均匀性。第五步也是最后一步是化学机械抛光，使用活性化学溶液。此步骤清洁表面，减少抛光时间，并创建介电层，使晶片适合半导体器件。GATAN Gemini CX单元的主要部件是研磨/抛光单元、机电运动和半自动控制。研磨/抛光装置一次可容纳和加工一个晶片。它配有晶片卡盘、垫架、金刚石磨料介质。机电运动由步进电机提供，机器由微处理器控制。这允许晶片的精确运动和对准，以及对旋转速度和压力的精确控制。控件提供有关流程的反馈,并提供用户输入选项来控制变量和参数。该工具还可以运行自动化进程，使用预设参数自动研磨和抛光晶圆。SAGITTA Gemini CX资产是一种具有成本效益的晶圆研磨、研磨和抛光模型，能够产生优异的效果。它设计用于单晶片操作，高度自动化。它采用重型结构建造，具有多种功能，旨在确保准确性和一致的结果。其自动化工艺易于使用，可用于达到不同表面要求的一系列速度和压力。