二手 GIGAMAT 3806 #9248737 待售

ID: 9248737
Polisher.
Strasbaugh的GIGAMAT 3806是一款功能齐全、多功能的晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计用于经济高效、高精度的应用。3806利用标准的6英寸晶片载波进行零件装卸,确保运行过程中的高吞吐量。提供了多种载体类型,包括非平坦曲面的可选真空固定,以及平坦曲面的无震动TorstenRing夹紧系统。此外,专门的晶圆载体可用于生产薄膜研磨结果。GIGAMAT 3806利用专利的多轴运动单元在研磨、研磨和抛光过程中提供无与伦比的一致性和准确性。该机器采用两个独立的、完全可编程的线性X轴和Y轴,以及六个并行控制的伺服驱动头,以确保精确的结果。此外,该工具还支持过程中和最终级别的计量。3806由高扭矩直驱电动机提供动力,在整个转弯范围内提供平稳运动,并有助于保持严密的过程控制。该资产可提供10 μ m以下的晶片磨损,并可磨削、研磨和抛光多达45 μ m的边缘到边缘,并具有30 μ m的中心到边缘晶片协议高达2.5 μ m。GIGAMAT 3806旨在利用精密伺服控制的提升阀最大限度地提高吞吐量和工艺控制,并在其综合磨削、研磨和抛光石材组件中优化模具。该车型还配备了专用的4万 rpm主轴传动装置、精密软件控制的载波装载设备以及一套全面的安全系统。3806是基于Windows的,具有直观的控件界面和易于理解的指令集。该系统还支持各种附加功能,包括用于研磨速率控制的E块,以及带有可伸缩臂的单独工艺监视器。还提供了其他选项来进一步定制特定应用程序的设备。
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