二手 GIGAMAT 3826 #9143786 待售

GIGAMAT 3826是一款功能强大的晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于半导体应用。在3826的核心是一个LoadLock盒式装载机连接到一个研磨-lasp-pol平台，容纳强大的研磨和抛光头。此设置提供了快速的示例加载和卸载以及高微精加工能力。先进的晶片夹紧和驱动系统可确保可靠的研磨和抛光,并对其进行精确控制。高度的控制和精确度，结合最新的变频驱动技术，使GIGAMAT 3826获得最佳的表面光洁度效果。这使得它成为敏感晶片生产应用的理想选择。磨头采用6.6千瓦无刷电机驱动,具有先进的主轴刚度和减振性能,可实现高精度和重复性。可选的DC 6.6 kW涡轮马达也可用于最大研磨功率。该系统还具有用于快速更换刀具的低惯性快速变化单元（RCS）和用于高效收集粉尘的粉末再循环机（PRS）。3826研磨抛光平台有两个超声波研磨头，能够达到5kHz振幅，可调至12 kHz。强大的75HP交流伺服马达用于以精确的圆周运动驱动研磨工具,在多次研磨过程中提供卓越的一致性。高级控制工具可确保可重复结果。抛光方面，GIGAMAT 3826配备了创新的压力控制资产。该模型使用获得专利的三点支撑设备在样品上产生完全均匀的压力，该设备能够保持从5g到500克的压力。智能控制系统根据样品的尺寸、形状、表面光洁度要求和材料调整压力。3826是一种可靠、高性能的研磨、研磨和抛光装置，用于最坚韧的半导体应用。其先进的驱动和控制系统确保了可重复和可靠的结果。压力机可确保均匀抛光压力,达到一致的表面光洁度.这使得它成为最具挑战性的生产过程的理想选择。