二手 GMN MPS 2 R300 DS #9133730 待售

GMN MPS 2 R300 DS是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在为现代半导体晶圆加工提供最大的灵活性和先进的技术。它具有坚固可靠的设计,能够提供出色的晶圆研磨、研磨和抛光性能。该系统由两个相互连接的模块组成，包括研磨和研磨模块和抛光模块。磨削和研磨模块设计用于晶圆切割、变薄和研磨,而抛光模块设计用于后研磨表面精加工,以实现精确、可控的晶圆平面度和表面粗糙度控制。这些模块并排安装,并使用CANbus网络进行通信。磨削和研磨模块配备了一个高功率的直接驱动主轴,其功率高达200,000 RPM,功率高达50 HP。强大的电动机可确保清洁切割,并提供精确的研磨和研磨操作。高精度的直线电动机驱动器和3D数控可以实现复杂的三轴控制和无与伦比的精度。主轴还配备了一个内部冷却装置，用于热控制。抛光模块配备了精密设计和构造的抛光头，能够实现高精度、均匀的表面光洁度。抛光头由大功率直线电动机驱动和允许三轴控制的3D CNC控制机提供动力。抛光头配有集成抛光，即使在高生产速度下也能提供最佳表面光洁度和高精度抛光。GMN MPS 2 R300DS专为实验室和生产环境而设计,提供卓越的性能和灵活性。是高精度晶圆研磨、研磨、抛光作业的理想选择。该工具配备了直列式、无损光学计量工具和实时数据采集资产,可让您实时监控该过程,从而更好地了解晶圆过程。