二手 GUANGDONG FUSAN FXM-10 / FPG-13 #9093628 待售

广东扶桑FXM-10/ FPG-13是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体工业。该机采用精密研磨金刚石工具，支撑磨料，安装在旋转台上。该表以低速（通常低于1000 RPM）旋转,使金刚石刀具能够以较少的努力有效地磨削、打磨和抛光更多的材料。它采用自动装卸系统，旨在最大程度地减少停机时间，使机器能够在研磨、研磨和抛光晶片之间快速切换。该机包括一个双轴可编程控制器，便于控制和优化研磨、研磨和抛光参数。可选的可编程逻辑控制器（PLC）允许进一步定制操作参数。一个集成的主轴单元提供了极好的精度和可重复性，与选项升级到一个多主轴机提高速度和效率。FXM-10/ FPG-13配备高精度、可重复的研磨悬挂工具,采用两根可调节的拉杆,确保均匀、光滑的表面光洁度。该资产设计用于研磨尺寸和厚度可变的圈状晶片，顶部公差为100 nm。使用带有数字显示器的60倍显微镜监测研磨和研磨过程。该机还具有内置式载荷单元和流体装卸控制的抛光头，设计用于精密和可重复性的抛光薄膜结构或其他先进基板。抛光头安装在高速、直接驱动的电动机上，允许快速调整抛光过程的力和速度。广东富山FXM-10/ FPG-13是精磨、研磨和抛光工艺的结合，为半导体制造提供了完整的解决方桉。其先进的控制、悬浮和抛光系统使其能够生产具有卓越表面质量的高精度晶片。是先进包装基板、显示玻璃、MEMS/光电材料等应用的理想解决方桉。