二手 GUANGDONG FUSAN FXM-11 / FPG-9 #9093622 待售

广东富山FXM-11/ FPG-9是一种全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于生产用于集成电路制造的高质量、生产水平的基板。该系统有一个简单、用户友好的控制面板，通过触摸屏显示器监控生产、调整参数和查看存储的配方。其主要部件包括可调节的空气轴承主轴、晶圆传输、样品处理、自动研磨/研磨/抛光头以及边缘检测单元（EDS）。在研磨应用中，FXM-11/ FPG-9采用了一种宏自动线分析仪，它可以精确地控制磨料浆料的运动。它还内置了降低磨料噪声的低噪声操作和提高安全性。该机器提供了高度可定制的流程配方,以有效满足客户需求。例如，可以根据特定的晶圆几何、基材要求和工艺约束来设置研磨方法。Edge Detection Tool （EDS）是广东扶桑FXM-11/ FPG-9的亮点。该资产使用倒刀边缘监控侧壁粗糙度,以检测表面平坦度在0.5 µm以内。EDS还提供了边缘检测点的屏幕图和对研磨笔触的精确控制。作为安全措施，如果刀刃检测到样品中的任何裂纹或碎屑，模型会发出声学警告。晶片传输设备可确保将抛光晶片均匀传输到下一个过程,而不会受到污染。FXM-11/ FPG-9的样品处理旨在在不影响质量的情况下最大限度地提高系统速度。它可以容纳高达8英寸的样本量,同时最大限度地减少颗粒污染。简而言之，广东扶桑的广东扶桑FXM-11/ FPG-9是晶圆生产研磨、研磨、抛光的理想解决方桉，其精度和效率是无与伦比的。其多才多艺的特点和功能使行业专业人员能够以最小的努力生产出精确、高质量的基材。更重要的是，其高端安全功能使其适合在广泛的生产环境中使用。