二手 HAMAI 16B-5P #9073248 待售

HAMAI 16B-5P是一种高精度晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在为半导体晶圆提供最高水平的表面光洁度和平坦度。该系统提供两种模块化配置。16B-5P-SG专为标准晶圆研磨和抛光工艺而设计，而HAMAI 16B-5P-HG提供优质的高精度研磨和抛光。该装置旨在最大限度地提高生产吞吐量,同时最大限度地减少污染和变化。16B-5P具有五件式盒式机器，可提供高效且无污染的晶圆交换。多种抛光和磨盘可用于各种工艺应用。这些光盘易于更换，工具可以完全自动化进行大批量生产。HAMAI 16B-5P采用高精度SCARA机械臂,可精确控制磨削/抛光轮的运动。The16B-5P还具有独特的晶片装卸方式，无需人工干预。16B-5P是一个完全封闭的资产，具有大容量排气模型，以确保清洁的工作环境。外壳装有过滤器和真空设备，用于清除杂物。该系统能够生产具有优异表面光洁度和平坦度的磨碎和抛光晶片。它还能够生产晶圆，其晶圆的光洁度高达8微米。HAMAI 16B-5P具有极端隔振功能，可减少晶圆断裂的机会，并将低噪声引入机组。该机器还为晶片设计了机械保护，以防止意外损坏。该工具配备了数据记录资产,可用于实时监视晶圆配置文件和过程参数。它还提供了易于阅读的图形界面,用于监视和控制模型的功能。该设备还具有独特的自动晶片跟踪系统，可以监控晶片的位置，以获得最佳的工艺能力。16B-5P为高质量半导体晶片的生产提供了可靠、高精度、无污染的工艺。该装置能够生产具有优异表面光洁度和平坦度的晶片，并具有最大的生产率和吞吐量。