二手 HAMAI 16B #9252227 待售

HAMAI 16B是一种先进的晶圆研磨、研磨、抛光设备，旨在提供高精度的成品晶圆表面，具有无与伦比的一致性和质量。该系统采用独特的两级研磨工艺,用于平面和曲面应用,可实现多种基板金属精加工,包括低、中、高密度和超高密度晶圆投影校正和抛光（PPCP）。HAMAI 16 B单元采用重型铸铁部件和预加载伺服电机，以实现平稳、精确的运动控制。还包括一个数字闭环温带控制机，用于精确的温度监测和反馈，以获得最佳性能。其两级研磨工具采用具有恒定扭矩、可变角度研磨头和摆臂电机转速的精密摆臂设计，以确保晶圆表面的快速精确调制和精加工。此资产能够生产具有超低表面粗糙度要求、公差高达1 nm间距精度±元件,并且模具尺寸拒绝范围为70 µm或更小。16B还具有可调节的砂轮速度,可实现细腻的低刚度、纤薄、堆迭的半导体材料层。车轮转速可由10-250 rpm调整，并配有水冷，防止基板温度过高。该型号还配备了单色计量设备，确保了晶圆成品特性的精确度，使得这台机器非常适合各种日益苛刻的制造和应用。操作环境温度范围为0到40°C，相对湿度范围为20%到80%，这种研磨研磨机是完成工作的完美全才。