二手 HAMAI 16BF-4M-5L-2L3M #9273144 待售

HAMAI 16BF-4M-5L-2L3M是一种多功能晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于半导体制造和其他精细表面抛光应用。该系统的四个电动机设计可提供多达五个磨削和研磨轴,并且能够在超光滑的表面上产生镜面光洁度。该单元由研磨板、研磨主轴和抛光垫三大部分组成。研磨板是工件支架，可在进行研磨和研磨过程时快速固定工件并将其固定到位。研磨主轴是实际的研磨和研磨头,其中包含能够提供达到所需精加工所需的精确运动的马达。抛光垫是一种可调节的板，设计用来固定抛光膜，通常应用于研磨主轴。研磨板有一个集成的自动夹紧机，专门设计用于在晶片加工过程中牢固地握住晶片。夹紧工具由一对机械夹具和气动缸组成，用来自动拧紧和释放夹具。研磨主轴是一种三轴旋转机构，带有驱动马达和三个执行器，允许研磨和研磨头在x、y和z方向上移动。磨削主轴还具有冷却资产,可防止刀具和工件在加工过程中过热。抛光垫是一个两轴电动底座，使抛光膜能够精确定位在主轴周围。抛光垫是可调的，以适应不同的薄膜厚度和设计，以减少振动和改善片的光洁度。该模型能够产生具有精确边缘几何形状的高质量超光滑镜面。整个过程可以监控和调整以获得最佳性能，设备紧凑节能，几乎不需要维护。16BF-4M-5L-2L3M是研磨、研磨和抛光各种晶片和基材的绝佳选择。其多才多艺的设计和先进的技术使其成为要求苛刻的精密生产应用的理想选择。