二手 HAMAI 16BF-4M-5P #293676465 待售
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HAMAI 16BF-4M-5P是由HAMAI Engineering设计制造的计算机控制晶圆研磨、研磨、抛光设备。该系统采用400毫米x 400毫米的湿磨、研磨和抛光床尺寸，在硅、砷化氙等多种晶片材料上，甚至在氧化铝、石英基材等硬质材料上，高效生产高质量、高抛光和平坦的表面。研磨过程开始于将基板磨削到指定的表面光洁度。接着是进一步平整表面的研磨磨料。在这种情况下,三个阶段与一个圈轮和三个磁盘一起使用,以逐步平整曲面。研磨完成后，抛光过程开始。这就是16BF-4M-5P真正闪耀的地方，因为它使用多抛光头在抛光的晶片表面上提供精度和均匀性。该多抛光头设计有四个金刚石研磨和抛光头，以创建一个一致和均匀的整个基板表面。两个泥浆循环喷嘴确保泥浆在基材表面的均匀分布。该设备采用图形用户界面（GUI）实现完全自动化,可轻松控制加工参数,如磨料类型、旋转速度、进给速率和端点检测。软件还记录晶片处理数据，用于质量保证和事后分析。HAMAI 16BF-4M-5P非常适合MEM、LED、半导体和显示晶片的研磨和抛光等多种应用。该机具有精确度和可重复性,保证了优异的质量效果.此外,所有组件的设计都考虑到最高的可靠性和准确性标准,这使得16BF-4M-5P成为晶圆处理的理想工具。
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